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- 南方電網(wǎng)申請(qǐng)基于SOI的壓力傳感器專利，能夠提高壓力傳感器的測(cè)量精確度
- 來源：金融界 發(fā)表于 2024/11/27
金融界2024年11月27日消息，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，中國(guó)南方電網(wǎng)有限責(zé)任公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“基于SOI的壓力傳感器”的專利，公開號(hào) CN 119023124 A，申請(qǐng)日期為2024年10月。
專利摘要顯示，本申請(qǐng)涉及一種基于SOI的壓力傳感器，涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域。包括依次層疊設(shè)置的密封襯底、下電極結(jié)構(gòu)、絕緣結(jié)構(gòu)和上電極結(jié)構(gòu)；密封襯底和下電極結(jié)構(gòu)之間設(shè)置有空腔，下電極結(jié)構(gòu)與空腔接觸的表面設(shè)置有壓力敏感膜；絕緣結(jié)構(gòu)的尺寸小于下電極結(jié)構(gòu)的尺寸且大于上電極結(jié)構(gòu)的尺寸上電極結(jié)構(gòu)的位置與壓力敏感膜的位置相對(duì)應(yīng)；還包括：補(bǔ)償結(jié)構(gòu)；其中，補(bǔ)償結(jié)構(gòu)與上電極結(jié)構(gòu)處于同一水平面，且設(shè)置在絕緣結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)離下電極結(jié)構(gòu)的表面，補(bǔ)償結(jié)構(gòu)的位置與下電極結(jié)構(gòu)直接與密封襯底接觸的表面位置相對(duì)應(yīng)。本申請(qǐng)能夠提高壓力傳感器的測(cè)量精確度。
本文源自：金融界
作者：情報(bào)員
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