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- 膠體量子點(diǎn)光電二極管集成于超曲面上,用于緊湊型單波紅外傳感器
- 來源:劉玉,IMEC 發(fā)表于 2025/12/16

本周,在IEEE國際電子器件會(huì)議(IEDM 2025)上,作為先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)研究與創(chuàng)新中心的imec,成功展示了其300毫米CMOS試驗(yàn)線開發(fā)的膠體量子點(diǎn)光電二極管(QDPD)集成在超曲面上。這一開創(chuàng)性方法為開發(fā)緊湊型、微型化的短波紅外(SWIR)光譜傳感器提供了可擴(kuò)展的平臺(tái),樹立了成本效益高分辨率的光譜成像解決方案的新標(biāo)準(zhǔn)。
開啟短波紅外傳感的新可能
短波紅外(SWIR)傳感器具備獨(dú)特功能。通過探測可見光譜之外的波長,它們能夠揭示人眼看不見的對比和特征,從而能夠透視某些材料,如塑料或織物,或在霧霾和煙霧等復(fù)雜環(huán)境中看到。然而,傳統(tǒng)的短波紅外傳感器仍然昂貴、體積龐大且制造難度高,限制了其應(yīng)用范圍。
量子點(diǎn)(QD)圖像傳感器是一類新型的單紅外傳感器,提供了一種有前景的替代方案,結(jié)合了更低的成本和更高的分辨率。不過到目前為止,它們使用的是寬帶模式,而非頻譜模式。
Imec通過成功整合膠體量子點(diǎn)光電二極管(QDPD)與其300毫米CMOS試點(diǎn)線開發(fā)的超曲面來應(yīng)對這一挑戰(zhàn)。量子點(diǎn)是納米級半導(dǎo)體,可以調(diào)諧以吸收特定的紅外波長,而超表面則是納米圖案的超薄層,精確控制光與傳感器的相互作用。通過將這些元素結(jié)合在兼容CMOS的工藝中,imec打造了一個(gè)可擴(kuò)展的微型單波紅外光譜探測器平臺(tái),提供了緊湊、高分辨率的傳感器架構(gòu),可通過標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝制造。
imec研發(fā)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人弗拉基米爾·佩約維奇表示:“這項(xiàng)技術(shù)特別突出的是其可擴(kuò)展性。”“傳統(tǒng)的量子點(diǎn)圖像傳感器需要為每個(gè)波長重新設(shè)計(jì)復(fù)雜的光電二極管層,這使得對每個(gè)應(yīng)用頻譜的調(diào)整既復(fù)雜又昂貴。
“我們的方法將復(fù)雜性轉(zhuǎn)移到CMOS層面,利用超曲面來調(diào)節(jié)光譜響應(yīng),而不是改變光電二極管堆棧。這為可輕松定制的高分辨率光譜單紅外(SWIR)傳感器打開了大門,并為安全、農(nóng)業(yè)、汽車、航空航天等領(lǐng)域的新功能鋪平了道路。”
通過協(xié)作加速創(chuàng)新
這一突破是多學(xué)科合作的結(jié)果,融合了 imec 在量子點(diǎn)圖像傳感器、平面光學(xué)(元曲面)和光譜成像方面的專業(yè)知識。下一步是將這項(xiàng)技術(shù)從概念驗(yàn)證擴(kuò)展到小批量生產(chǎn),最終實(shí)現(xiàn)全面生產(chǎn)。為了加速這一轉(zhuǎn)型,imec邀請合作伙伴合作。
“我們的目標(biāo)是將這一突破轉(zhuǎn)變?yōu)橐粋(gè)面向行業(yè)的平臺(tái),”imec投資組合經(jīng)理Pawel Malinowski解釋道!拔覀兿Mc合作伙伴合作,開發(fā)定制圖像傳感器和集成器件,并在實(shí)際應(yīng)用中展示這項(xiàng)技術(shù)。
“通過結(jié)合imec的光譜專業(yè)知識、量子點(diǎn)技術(shù)和先進(jìn)的CMOS工藝能力與特定應(yīng)用領(lǐng)域,我們旨在加速創(chuàng)新,將下一代單紅外傳感器從概念驗(yàn)證帶到全面制造。因此,Imec歡迎與合作伙伴合作,共同塑造傳感與成像的未來!
更多信息:與膠體量子點(diǎn)光電二極管實(shí)現(xiàn)的超曲面共整合,實(shí)現(xiàn)了便捷的光譜傳感器。iedm25.mapyourshow.com/8_0/ses......s.cfm?ScheduleID=380
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